一、纳米压痕仪的实验原理

　　纳米压痕仪技术又称为深度敏感压痕技术，它经过核算机控制载荷连续的变化，并且在线监测其压入的深度。一个完美的压痕进程包括两个进程，也就是加载进程以及卸载进程。在加载的进程中，给压头施加外载荷，使之压入样品的外表，随着载荷值的增加，压头压入样品的深度也会随着增加，当载荷的值达到最大的时候，把外载移除，样品的外表会存在着残留的压痕的痕迹。

　　随着实验载荷的不断的增加，位移也在不断的增加，当载荷到达了最高点的时候，位移的值也就达到了最大，也就是最大压痕深度hmx。之后卸载进程，位移最后会回到一个固定的值，这个时候的深度叫做残留压痕hr，也就是压头在样品上留下的永久塑型变形。

　　二、纳米压痕仪的应用

　　纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度和杨氏模量的测试，测试的结果通过力和压入深度的曲线计算得到，并不需要在利用显微镜来观察压痕面积了。

　　纳米压痕仪主要用来测量纳米尺度的硬度以及弹性模量，能够用来研究或者是测试薄膜等纳米材料的接触刚度以及蠕变，弹性功，塑性功，断裂韧性，应力-应变曲线，疲劳，存储模量与损耗模量等的特性。可用来对有机或者无机，软质或者是硬质材料的检测分析，比如PVD，CVD，PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜以及装饰性薄膜等等。基体可以是软质材料或者是硬质材料，像金属，合金，半导体，玻璃，矿物与有机材料等都是可以的。