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今天小编主要给大家介绍下光谱椭偏仪及应用和特点。
光谱椭偏仪是一种用来探测薄膜厚度,光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。因其测量的精度很高,被适用在超薄膜,不与样品接触,并且不用真空,对样品没有其他破坏性,使得椭偏仪成为了一种吸引力的测量仪器。
光谱椭偏仪被广泛的应用在多种领域中,像半导体,微电子,MEMS,通讯,数据存储,光学镀膜,平板显示器,科学研究还有物理,化学,生物以及医药等领域。
光谱椭偏仪能够测量的材料有半导体,介电材料,有机高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜,还有自组装单分子层以及多层膜物质和石墨烯等。
光谱椭偏仪产品的特点:
1、更为简便快捷的样品准直方法
2、软件具备丰富的材料数据库
3、连续波长的光源为用户提供了更大的应用空间
4、可以自定义的色散模型,对于用户研究新材料的光学性质也会更加方便
5、能够全波长多角度的同时数据拟合,EMA模型用户的多成分化合物与表面粗糙度的分析
6、具有实验数据以及模拟数据的三维绘图的功能
7、光谱的范围宽达250-1100nm
8、光谱椭偏仪的功能强大的光谱椭偏测量和分析软件
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