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原子力显微镜是主要用于样品表面微纳米级别三维形貌与其他物理量的测试仪器。
原子力显微镜的工作原理是激光反射悬臂梁或者称为光杠杆的原理;激光经过悬臂梁的背面反射到探测器上,悬臂梁前端的针尖在样品上扫描,随着样品的高低起伏变化带来探测器上信号的变化,经过ADC转换为电信号实现数据输出得到最终形貌信息或者其他物理量信息。原子力显微镜可进行高精度的粗糙度、台阶高度及微纳米级别三维轮廓等测量,同时可以测量相位、电学、磁学、纳米机械性能等其他各种高级物理量。
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