光学轮廓仪，它是一种用于电子与通信技术领域的检测仪器。使用光学轮廓仪，可以对各种精密器件与材料表面进行纳米级的测量，它使用白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经过分光棱镜后分为两束，一束光经过被测表面会反射回来，另外一束光经过参考镜的反射，两束反射光最后汇聚并且发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化成了干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面的三维形貌。

　　光学轮廓仪是专门用于非接触式的快速测量，精密零部件其重点部分表面的粗糙度以及微小形貌轮廓和尺寸，它的测量精度能够达到纳米级。就目前来说，在3D的测量领域中，白光干涉仪算得上是精度最高的测量仪器之一了。

　　上海纳嘉仪器有限公司的Zeta-300光学轮廓仪，采用非接触式3D表面形貌测量系统，具有灵活的配置以及集成的隔震系统。这一款多模式光学轮廓仪，Zeta-300的配置灵活并且使用方便，其集合了六种不同的光学量测技术。Zeta-300也是一种高端的显微镜，可以用来样品复检或者自动缺陷检测，适用于研发和生产环境。

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