今天小编主要为大家介绍下光学轮廓仪的主要功能，下面我们一起来看一下。

1、共聚焦

       能够使用共聚焦技术来测量各类样品的表面形貌。它拥有比光学显微镜更高的横向分辨率，能够达到0.10um。利用共聚焦技术可以实现临界尺寸的测量。当我们采用150倍，0.95数值孔径镜头的时候，共聚焦在光滑的表面测量的斜率能够达到70°（在粗糙表面可以达86°）。共聚焦算法能够保证Z轴的测量重复性会在纳米的范畴。

2、干涉

（1）相位差干涉（PSI）

       相位差干涉，它是一种亚纳米级精度的专用于测量光滑的样品表面高度形貌的技术。它的优点在于在任何的放大倍数下都能够保证具有亚纳米级的纵向分辨率，只需要使用2.5倍的镜头就可以完成超高的纵向分辨率的大视场测量。

（2）白光干涉（VSI）

       白光干涉，这是一种用于测量各种表面高度形貌的具有纳米级测量精度的技术。它的优点是在任何的放大倍数下都能够保证其纳米级的纵向分辨率。

3、多焦面叠加

      多焦面叠加，这种技术一般是用来测量一些较为粗糙的样品表面形貌的。根据Sensofar在共聚焦跟干涉技术融合应用方面的许多经验，特别设计了这个功能来弥补在低倍共聚焦测量方面的不足。这项技术的亮点在于快速（mm/s），扫描的范围大以及支援斜率大（大86°）。这个功能对于工件与模具的测量是非常有用的。

4、薄膜测量

     采用分光反射计能够完整的解决薄膜厚度的测量。Sneox在增加了分光反射计之后能够测量10nm的膜厚与多10层膜。由于是通过显微的镜头测量，小的测量点为5um。因系统里面有组合的LED光源，所以实时的观察以及膜厚的测量可以同时进行的。

     以上便是小编带大家了解的关于光学轮廓仪的主要功能，希望对大家之后使用本设备带来一些帮助。今天的分享就先到这边了，有兴趣的话，欢迎关注上海纳嘉仪器有限公司。