本应用笔记描述了沉积在金基板上铝点样品的静电力(EFM)测量。此样品是EFM 模式盒样品的一部分。

相位作为微结构铝（灰色）或金（橙色）上的尖端电压的函数。

EFM使用悬臂振荡谐振频率的偏移来监测样品和尖端之间的静电场变化。静电力始终具有吸引力，在尖端和样品之间的较大接触电位差异时增加，从而导致悬臂的（固定）振荡频率处的低相位。

在运行尖端电压频谱时，可以优雅地测量作为电位差函数的相移。对于具有不同功函数的不同金属，最大相位时的尖端电压（即最小吸引力）会有所不同。从在金或铝上测得的水平移动相谱可以看出这一点。

恒高与轮廓跟随模式

与MFM相似，EFM的测量是将尖端抬高到样品上方。静电相互作用取决于针尖与样品之间的距离。对于扁平样品，可以在恒高模式下测量静电相互作用。对于具有较大变化的样品（如Al-Au微结构），距离变化也会引起相移。为了减少这种混合，C3000控制器和CoreAFM提供了轮廓跟随模式。

在恒高和轮廓跟随模式下，地形都在第一次运行中测出，但这在恒高模式下可以省略。恒高模式下尖端以恒定斜率第二次移过样品表面。而轮廓跟随模式，依据先前测得地形把尖端上下移动来保持间距的恒定。

铝金微结构的EFM测量，扫描尺寸: 8 µm, 结构高度: 90 nm, 相范围: 6°. 图像处理: Nanosurf报告软件