探针式轮廓仪 / 台阶仪 / P-7 Stylus Profiler
P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
产品描述
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
台阶高度:几纳米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
样品全直径扫描,无需图像拼接
视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件:简单易用的软件界面
生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用
台阶高度:2D和3D台阶高度
纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
形状:2D和3D翘曲和形状
应力:2D和3D薄膜应力
缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
大学、研究实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED:发光二极管
太阳能
MEMS:微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
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