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硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。

iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。

高速材料性质分布

对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。

ISO 14577硬度测试

iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。

聚合物Tan Delta、储存和损失模量

iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。

高温纳米压痕测试

高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。

iNano® 选项可供选择，配合您的新产品，或后续使用。 请联系你的销售代表获取更多相关信息。

连续刚度测量(CSM)

连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。 CSM技术采用在压痕期间振荡压头以测量随深度、力荷载、时间或频率而变化的特性。该选项包括恒定应变率实验，该实验测量硬度和模量与深度或载荷的函数关系，这是学术界和工业界最常用的测试方法。 CSM还可用于其他高级测量选项，包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA™方法和与基板无关的测量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，易于使用并且保证数据质量。

300°C样品加热

300°C样品加热选项允许将样品放入工作室中进行均匀加热的同时使用InForce 50驱动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体回填以减少氧化，以及冷却以去除废热。 ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均与样品加热选项兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头绘制高E（> 3GPa）材料的纳米力学性质的3D分布。NanoBlitz以每个压痕<1s实现多达100,000个压痕（300x300阵列），并对阵列中的每个压痕在指定负载下测量杨氏模量（E）、硬度（H）和刚度（S）值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多个阶段或材料。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理功能。

NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头为低E/H和高E（> 3GPa）材料绘制4D纳米机械特性的分布。NanoBlitz以每次压缩5-10s进行多达10,000个压痕（30×30阵列）测试，并以每个压痕的深度为函数对杨氏模量（E）、硬度（H）和刚度（S）进行测量。NanoBlitz 4D采用恒定应变率方法。 该方法包具备可视化和数据处理功能。

AccuFilm™薄膜方法组合

AccuFilm薄膜方法组合是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，采用连续刚度测量（CSM）对基板无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基板上硬性薄膜测量进行基板材质的影响的校正，也对硬基板上的软性薄膜进行同类的校正。

ProbeDMA™聚合物方法组合

聚合物包提供了对聚合物的复数模量作为频率的函数进行测量的能力。该包装包括平冲头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析（DMA）测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术是对其进行表征的关键。

生物材料方法组合

生物材料方法组合采用约为1kPa的剪切模量以及连续刚度测量（CSM）提供了测量生物材料的复数模量的能力。该选项包括平冲头和用于评估粘弹性的测试方法。对于传统流变仪无法测量的的小规模生物材料，这种测量技术对其表征十分关键。

划痕和磨损测试方法组合

划痕测试在以指定速度在样品表面上移动时对压头施加恒定或斜坡载荷。划痕测试允许表征薄膜、脆性陶瓷和聚合物等在内的很多材料。

DataBurst

DataBurst功能使配备InView软件和InQuest控制器的系统能够以> 1kHz的速率记录位移数据，用于测量高应变阶跃负载、弹出和其他高速事件。配备用户方法开发选项的iNano系统也可以对使用DataBurst的方法进行修改。

针对InView控制软件的用户方法开发

InView是一个功能强大、直观的实验脚本平台，可用于设计新颖或复杂的实验。 经验丰富的用户使用配备独有InView选项的iNano系统设置几乎可以进行所有小规模机械测试。

采用模块机架系统的主动隔振

可选用的高性能主动隔振系统为iNano 纳米压痕仪其内置隔振装置的基础上提供额外的隔振功能。该系统易于安装并可在所有六个自由度上减少振动，无需调试。模块化机架系统将所有组件囊括在集成机架内以方便使用。

True Test I-V电气测量

采用InView软件控制，iNano纳米压痕仪的True Test I-V选项是使用精密电流表和电压源、通过压头电路和导电压头。该设计帮助用户对样品施加特定电压，测量压头处的电流，且同时操作InForce 50驱动器。

压头和校准样品

InForce 50、和Gemini驱动器采用可互换的压头。 系统配有有各种各样的尖锐压头，如Berkovich、立方角和维氏，以及平面冲头、球形冲头和其他几何形状。整个产品系列也提供标准参考材料和校准标准。