反射膜厚仪/测厚仪/F20系列
畅销的台式薄膜厚度测量系统
只需按下一个按钮,您在不到一秒钟的同时测量厚度和折射率。设置同样简单, 只需插上设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 并连接样品平台 , F20已在世界各地有成千上万的应用被使用. 事实上,我们每天从我们的客户学习更多的应用.
选择您的F20主要取决於您需要测量的薄膜的厚度(确定所需的波长范围)应用于非晶态多晶硅,CMP,电介质,玻璃和塑料厚度,硬涂层厚度,集成电路故障分析,,铟锡氧化物与透明导电氧化物,医疗设备,金属厚度测量,有机发光显示器,眼科设备涂层,有机保焊剂/铜表面处理,聚对二甲苯涂层,光刻胶,多孔硅,制程薄膜,折射率和消光系数,硅晶圆薄膜,太阳光伏,半导体教学实验室,卷式涂层
Filmetrics F20*是监测薄膜沉积的有效工具,可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口,实时监控长晶速度,实时测量膜厚、n 、k 值以及半导体和绝缘体涂层的均匀性。可加装三个探头,同时测量三个样品,有三种不同波长选择( 波长范围从可见光380nm 至近红外1700nm);
主要特点:
*测量精度高,优于1% ;
*测量速度快,几秒钟内可完成测量;
*整套设备可放置在沉积室外;
*操作简单,使用方便;
*价格便宜
应用领域:
*分子束外延MBE;
*金属有机物化学气相沉积MOCVD;
*材料研究;
*光电镀膜应用: 硬化膜、抗反射膜、滤波片
额外的好处:
· 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
· 应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
· 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
· 硬件升级计划
Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
10µm - 3mm | 960-1580nm |
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
---|---|---|
F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
F3-sX 系列 | 10µm - 3mm | 960-1580nm |
厚度测量范围*