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反射膜厚仪 F50系列

反射膜厚仪/测厚仪/F50系列 自动化薄膜测绘Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

  • 品牌:Filmetrics@A KLA Company
  • 型号:F50系列

反射膜厚仪/测厚仪/F50系列 

自动多点测量成像


Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径标配200mm,可达450mm。(稳定的样品台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的F50型号仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的F50是最受欢迎的产品。一般较短的波长(如F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可测样品膜层:
基本上所有光滑的,非金属的薄膜都可以测量。

可测样品包括:
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅  

额外的好处:

· 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

·  应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)

· 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)

·  硬件升级计划

 

 

 

 

型号

厚度范围*

波长范围

F50

20nm-70µm

380-1050nm

F50-UV

5nm-40µm

190-1100nm

F50-NIR

100nm-250µm

950-1700nm

F50-EXR

20nm-250µm

380-1700nm

F50-UVX

5nm-250µm

190-1700nm

F50-XT

0.2µm-450µm

1440-1690nm

F50-s980

4µm-1mm

960-1000nm

F50-s1310

7µm-2mm

1280-1340nm

F50-s1550

10µm-3mm

1520-1580nm



型号厚度范围*波长范围
F5020nm-70µm380-1050nm
F50-UV5nm-40µm190-1100nm
F50-NIR100nm-250µm950-1700nm
F50-EXR20nm-250µm380-1700nm
F50-UVX5nm-250µm190-1700nm
F50-XT0.2µm-450µm1440-1690nm
F50-s9804µm-1mm960-1000nm
F50-s13107µm-2mm1280-1340nm
F50-s155010µm-3mm1520-1580nm

厚度范围*
1nm
10nm
100nm
1µm
10µm
100µm
1mm
10mm
F50-UV
F50-UVX
F50
F50-EXR
F50-NIR
F50-XT
F50-s980
F50-s1310
F50-s1550



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